Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích

Projekt byl řešen s finanční podporou TA ČR.

Příjemce: Ústav přístrojové techniky Akademie věd ČR, v.v.i.
Další účastník/ci: Meopta – optika, s.r.o.
Doba řešení projektu: 2012 – 2016
Poskytovatel dotace: Technologická agentura ČR
Program: ALFA
Kód projektu: TA02010711
Kód projektu Meopta: DP0001

Anotace projektu: Cílem projektu je výzkum a vývoj interferometrických systémů pro měření geometrických veličin. Výzkum v návaznosti na předchozí výsledky výzkumu laserových etalonů délky a metodiky interferometrické metrologie délky bude zaměřen na technologii výroby optických prvků, metodiku interferometrického měření, stabilizaci frekvence laserových zdrojů záření, detekční systémy interferenčního signálu, zpracování signálů, vše s důrazem na nejvyšší přesnost a rozlišení pro využití v měření v nanosvětě.