Měření asférické optiky
Interferometrické meření
Stitching interferometr ve vertikálním uspořádání s nahoře uloženou jednotkou Fizeauova typu. Využívá laterální stitching a nulovací optický člen. Měřený kus se upíná regulovatelným podtlakem, mechanickou kleštinou či do HD chucku. Lze vyhodnocovat tvar měřené součásti či deformaci odražené vlnoplochy.
Možnosti měření:
- rovinné, sférické a asférických leštěné konkávních či konvexní povrchy do průměru 300 mm s přesností do λ/30
- asferické povrchy bez inflexního bodu s odchylkou až 1000 λ (650 μm) od „best fit sféry“
- povrchy s numerickou aperturou až do 1 (plné hemisféry)
- sférická optika se zvýšenou přesností (díky stitchingu automatické zjišťení a odečet systematické chyby zařízení)
- radiusy do velikosti 800 mm
- odchylky rovinných, sférických a asférických povrchů s možností exportu dat pro následnou korekci